晶能光电取得用于单片式晶圆清洗机的全从动上
发布日期:2026-01-01 17:49 点击:
国度学问产权局消息显示,晶能光电股份无限公司取得一项名为“一种用于单片式晶圆清洗机的全从动上下料安拆”的专利,授权通知布告号CN223737129U,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本适用新型供给的用于单片式晶圆清洗机的全从动上下料安拆,全体采用L型安插,通过曲达工做台上的取片布局和送片布局实现从动上下料,只需人工取放料盒即可,取片清洗和清洗后的收受接管均能从动运转,提高了效率。此外,该安拆还具备非常环境从动检测取处置功能,一旦第一机械臂正在取片过程中发生碰撞等环境,系统会当即发出警报信号,并暂伏贴前动做以防止布局被损坏。不只确保了整个上下料流程运转的不变性和靠得住性?。


